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测试样品所在衬底大小
4 英寸、6 英寸、8英寸
薄膜种类
Al2O3
工艺类型
Thermal_ALD
样品所处温度范围
高低温均可(详细要求请留言)
致密度
通过KHF侵蚀实验效果优异
表面粗糙度25 nm Ra
0.21
1-σ(%)
<2
GPC/(A°)
0.94
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