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Al2O3 Thermal_ALD
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Al2O3 Thermal_ALD

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产品编号
所属分类
工艺展示
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1
详情描述

测试样品所在衬底大小

4 英寸、6 英寸、8英寸

薄膜种类

Al2O3

工艺类型

Thermal_ALD

样品所处温度范围

高低温均可（详细要求请留言）

致密度

通过KHF侵蚀实验效果优异

表面粗糙度25 nm Ra

0.21

1-σ（%）

<2

GPC/(A°)

0.94 
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