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AIN PE_ALD
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AIN PE_ALD

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产品编号
所属分类
工艺展示
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1
详情描述

测试样品所在衬底大小

4 英寸、6 英寸、8英寸

薄膜种类

AlN

工艺类型

PE_ALD

样品所处温度范围

高低温均可（详细要求请留言）

样品所处功率范围

低功率

表面粗糙度 Ra

0.23

1-σ（%）

<2

GPC/(A°)

1.09

 

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ALN Thermal_ALD
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