原磊纳米科技自主研发的双腔室设计，保证较高的前驱体利用率；
拥有自主知识产权的进气和加热方式，保证高均匀性；
独特的腔体结构，避免不同工艺间的交叉污染，方便维护；
模块化设计，可调整电、气位置，独立进样空间，兼容高洁净度生产空间；
 一次性批量晶圆处理能力，降低生产和设备成本；
可兼容多种尺寸样品，升级方便；
目前全球性价比极高的工业机台。