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Elegant II-A系列
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产品编号
所属分类
研究型机台
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产品描述
技术指标:
样品:最大12英寸,向下兼容,可定制
工艺温度:RT~400℃,更高温度可定制高温模块。
前驱源管路:最大6路独立管路,可定制
低压源加热系统:包含源瓶和管路,RT~200℃
真空系统:高性能机械泵,可定制半导体级分子泵
生长模式:正常生长、停留生长、等离子体增强(可定制)
等离子体源:射频、微波,可定制
等离子体放电气源:最大4路独立管路,可定制
控制系统 :自主研发操作系统 + 触摸屏
电源: 50-60Hz, 380V/20A交流电源
均匀性:Al2O3非均匀性<1%
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