原磊纳米的成熟量产型机台，在Elegant II-Y 系列的基础上加入了一个完全自主研发的全自动晶圆装载相传输系统，符合SEMI标准，可使用标准或用户自定义的Cassette一次性装载25片8/6英寸晶圆，因此非常适合中试或终试应用。装配精密步进马达和传感器的晶圆装载系统可精确实现晶圆定位和计数并配合机械手臂完成精准的晶圆取放。该系列同样采用了双腔设计和独立源入口，从而保证了源利用率并减少了交叉污染。数个升级端口可以使等离子体加强和热法工艺在同一个真空腔体中实现，工艺结束后能快速冷却，并可加装原位膜厚测量装置（椭偏仪），特别适合化合物半导体器件的量产。在化合物半导体领域，我司利用ALD技术开发出独特的处理工艺－即ISSET技术，能够大幅提升功率器件的电学性能。