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Elegant II-A 系列
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Elegant II-A 系列

原磊纳米的成熟量产型机台,在Elegant II-Y 系列的基础上加入了一个完全自主研发的全自动晶圆装载相传输系统,符合SEMI标准,可使用标准或用户自定义的Cassette一次性装载25片8/6英寸晶圆,因此非常适合中试或终试应用。装配精密步进马达和传感器的晶圆装载系统可精确实现晶圆定位和计数并配合机械手臂完成精准的晶圆取放。该系列同样采用了双腔设计和独立源入口,从而保证了源利用率并减少了交叉污染。数个升级端口可以使等离子体加强和热法工艺在同一个真空腔体中实现,工艺结束后能快速冷却,并可加装原位膜厚测量装置(椭偏仪),特别适合化合物半导体器件的量产。在化合物半导体领域,我司利用ALD技术开发出独特的处理工艺-即ISSET技术,能够大幅提升功率器件的电学性能。
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产品编号
所属分类
研发型机台
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产品描述

技术指标:
样品:最大12英寸,向下兼容,可定制
工艺温度:RT~400℃,更高温度可定制高温模块。
前驱源管路:最大6路独立管路,可定制
低压源加热系统:包含源瓶和管路,RT~200℃
真空系统:高性能机械泵,可定制半导体级分子泵
生长模式:正常生长、停留生长、等离子体增强(可定制)
等离子体源:射频、微波,可定制
等离子体放电气源:最大4路独立管路,可定制
控制系统 :自主研发操作系统 + 触摸屏
电源: 50-60Hz, 380V/20A交流电源
均匀性:Al2O3非均匀性<1%

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