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Grace Mx 系列
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Grace Mx 系列

GRACE-MX 是南京原磊纳米材料有限公司自主研发的第一代多层平板式原子层薄膜沉积(ALD)系统。采用独特的模块设计,通过对腔体和前驱源进气系统的优化,实现了超高的工艺稳定性,并支持全方位的工艺开发,包括在微机电系统、光学、化学和工业领域等的应用,且所开发的材料覆盖众多氧化物(例如SiO2/SnO2/HfO2/Al2O3等),可容纳样品尺寸最大300mm*300mm,针对不同领域的研发,最大可容纳样品尺寸及层数可根据客户需求量身定制。
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定制型产品
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产品描述

技术指标:
样品:最大样品尺寸300mm*300mm
工艺温度:RT~450℃,更高温度可定制高温模块。
前驱源管路:最大6路独立管路,可定制
低压源加热系统:包含源瓶和管路,RT~200℃
真空系统:高性能机械泵,可定制半导体级分子泵
生长模式:正常生长、停留生长
控制系统 :自主研发操作系统 + 触摸屏
电源: 50-60Hz, 380V/20A交流电源
均匀性:Al2O3非均匀性<1%

 

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