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PC10 系列
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PC10 系列

原磊纳米自主开发的团簇式ALD设备,应用于化合物半导体等领域量产客户。集成8~10个工艺腔体自主研发的VTM传输系统,配置2个冷却站,分别同时冷却5片晶圆配置2 loadlocks(25pcs/loadlock),自带内部自清洁功能,保障晶圆洁净工艺腔体本底压力低,极大控制氮化物膜层的氧含量独特工艺腔体设计,保证良好的温度场和流场特有等离子体处理技术,可有效减少高能离子对局部膜层的损伤维护便利,自带起重系统,极大减少系统组装、检修、维护时间。
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产品描述

技术参数                

晶圆尺寸:6/8英寸                

装片能力:1片/腔,配置8~10工艺腔体                

适用工艺:ALN、Al2O3、TiN等                

应用领域:化合物半导体、MEMS等

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