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门阀
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定制型产品
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产品描述
技术指标
适用晶圆尺寸 8英寸/12英寸
使用环境压力 1.0X105~10-6Pa
驱动压力 0.5~0.6Mpa
动作压差 <4kPa
泄漏率 1.3X10-9mbar.L/S
使用温度 阀板5~120℃/驱动部5 60℃
动作时间 0.6~1s
寿命 ≥100万次
材质 密封圈材质 FFKM 阀体 AL6061/316L
波纹管 316L 门板 AL6061/316L
备注:可根据客户需求定制材质
端锁方向 闭合锁 close lock
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Grace Mx 系列
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