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门阀

原磊纳米拥有完全自主知识产权的高真空直动式传输门阀,适用于装载锁和真空工艺室隔离,广泛应用于真空镀膜设备、光电产业及其他集群真空系统。 密封装置具有快速启闭、较高的重复运行寿命以及高气密性等优点,在隔绝和连通各真空腔室时起到关键性作用。 优势- 密封性好和启闭快 特殊设计的气动驱动器能快速实现阀板开合和关闭,特制的密封件保证更可靠耐用的密封效果。 优势二 低发尘 更低的particle产生,精密的门板驱动设计使密封过程接近零摩擦,更有效的抑制颗粒的产生。 优势三 高安全性能 采用机械式所止机构在阀板闭合时锁定门板组件,有效避免外界因素导致的阀板误操作。 优势四 维护便利和长寿命 可更换波纹管,可通过顶部拆装门板,使用寿命可达100万次。
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定制型产品
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产品描述

技术指标

适用晶圆尺寸  8英寸/12英寸
使用环境压力 1.0X105~10-6Pa
驱动压力 0.5~0.6Mpa
动作压差  <4kPa
泄漏率 1.3X10-9mbar.L/S
使用温度  阀板5~120℃/驱动部5 60℃

动作时间  0.6~1s
寿命  ≥100万次
材质  密封圈材质 FFKM 阀体 AL6061/316L
         波纹管 316L 门板 AL6061/316L
         备注:可根据客户需求定制材质
端锁方向  闭合锁 close lock

 

 

 

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