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源瓶
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源瓶

针对不同的ALD工艺，原磊自主创新设计的ALD前驱体钢瓶，包括冷源钢瓶、热源钢瓶以及双口热源钢瓶三种类型。这些钢瓶采用316L高纯不锈钢材质，容量范围广泛，从常规的100ml到600ml不等。同时，我们还可根据客户需求定制大容量钢瓶，其密封性能卓越，漏率低至1*10E-9 mbar*L/s，可广泛应用于ALD真空镀膜设备中。
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产品描述

源瓶特点:

1、所有管件采用316L不锈钢

2、阀门为美国世伟洛克球阀和隔膜阀;

3、密封垫片采用电化学抛光;

4、氦质谱检测泄漏率≤1.0*10-9mbar L/s;

5、可盛装化学品纯度>99.9995;

6、钢瓶体积：100~600ml，1L，1.2L，可定制;

7、钢瓶类型：单口冷源、单口热源、双口热源

8、可提供非标定做。

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