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详情描述
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测试样品所在衬底大小 |
4 英寸、6 英寸、8英寸 |
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薄膜种类 |
Al2O3 |
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工艺类型 |
PE_ALD |
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样品所处温度范围 |
高低温均可（详细要求请留言） |
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样品所处功率范围 |
低功率 |
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致密度 |
通过KHF侵蚀实验效果优异 |
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表面粗糙度Ra |
0.19 |
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1-σ（%） |
<2 |
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GPC/(A°) |
0.94 |
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ALN Thermal_ALD
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