Grace-Mx 是南京原磊自主研发的第一代多层平板式原子层薄膜沉积（ALD）系统，符合CE标准。独特的模块设计、腔体和前驱源进气系统的优化，实现了超高的工艺稳定性。支持全方位的工艺开发，包括在集成电路、微机电系统、光学、化学和工业机械等领域中应用。所开发的材料覆盖众多氧化物（例如SiO2/SnO2/HfO2/Al2O3等）。针对不同领域的研发，最大可容纳样品尺寸及层数可根据客户需求量身定制。